日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U30H維修特點
適用于大型成膜裝置、太空艙等。
擁有的排除水蒸汽的性能。
外形尺寸 (單位:mm)
日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U30H維修標準規(guī)格
排氣速度(20℃)  | 氮氣  | L/s  | 28,000  | 
氫氣  | 43,000  | ||
氬氣  | 23,000  | ||
水  | 70,000  | ||
到達壓力  | Pa(Torr)  | 10-7(10-9)  | |
大流量  | 氬氣  | Pa?L/s(Torr?L/s)  | 2.7×103(20)  | 
氫氣  | 7.4×102(5.6)  | ||
排氣容量  | 氬氣  | Pa?L(Torr?L)  | 7.8×108(5.9×106)  | 
氫氣  | 1.5×107(1.1×105)  | ||
冷卻降下時間  | min(Hz)  | 240/200(50/60)  | |
吸氣口法蘭  | VG-750  | ||
壓縮機裝置  | C30VR×2  | ||
質量  | Kg  | 175.0  | |
*維護間隔:16,000小時
U22H,U30是在貿(mào)易管理法規(guī)定中屬于戰(zhàn)略物資的出口管制品。
在出日本國境時請務必辦理日本政府的出口許可申請等手續(xù)。
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